氣體質量流量計

Name: 氣體質量流量計
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所屬分類：G300質量流量計

更新時間：2024-07-01

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簡要描述：G300熱式氣體質量流量計標配高精度傳感器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300 系列采用標準的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴展至 255 臺設備同時使用。

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詳細說明：

G300 質量流量計特點

? 高精度、高分辨率控制

? 低功率，功率＜0.5W

? 集成 20 種基礎氣體種類

? 可自定義 10 種混合氣體

? 數字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

? 寬流量量程范圍

? 無需預熱

? 無安裝方向限制

? 具有高重復性和高可靠性

? 自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃

? 具有高穩定性

? 小封裝尺寸量程及精度簡介

? 可用量程：

? 最大 0-50slpm

? 最小 0-1sccm

? 常備量程請參考選型表

? 量程比：1000:1

? 滿量程精度：±0.2%

? 讀取精度：±0.8%

? 可重復性：±0.2%FS

數字式設計簡介

G300 系列質量流量計標配高精度傳感器和數字電路，數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300 系列采用標準的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴展至 255 臺設備同時使用。

應用領域

? 氣相和液相色譜儀

? 半導體工藝

? 環境監測設備

? 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）

? 氣體發生器

? 配氣混氣系統

氣體質量流量計

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